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OPTIMIERUNG IHRES PRODUKTIONSPROZESSES

Fortschrittliche Pumpenl?sungen, die auf jahrzehntelanger Erfahrung und Innovation in der Halbleiter-/Solarindustrie beruhen

Die Produktion von Halbleitern stellt ganz besondere Ansprüche an eine Pumpe. Neben der besonderen Herausforderung durch teilweise - insbesondere für Kunststoffe - recht hohe Temperaturen erfahren Begriffe wie Reinheit und Sicherheit eine ganz neue Bedeutung.

Die absolute Metallfreiheit der Almatec Pumpenbaureihe FUTUR ist dabei eine wesentliche Voraussetzung. Die Versorgung von hochreinen Chemikalien und deren Zirkulation und Filtration sowie die F?rderung von abrasiven Slurries und L?semitteln sind typische Anwendungsgebiete in der Halbleiterindustrie. Beispiele für hochreine Chemikalien sind H2SO4, HCl. HNO3, H3PO4, HF und H2O2.

Der Stellenwert der Solar- oder Photovoltaikindustrie in der Weltwirtschaft steigt aufgrund der wachsenden Bedeutung der Nutzung von erneuerbaren Energien rapide an. Vor allem bei der Herstellung von Silizium-Solarzellen (Wafer) werden die von au?en metallfreien Almatec Druckluft-Membranpumpen der E-Serie als besonders geeignet angesehen. M?gliche Einsatzbereiche sind hier die Slurryf?rderung vor und nach dem Siliziums?geprozess mit Pumpen aus abrasionsfestem Polyethylen sowie die Chemikalienbehandlung der Wafer (Pumpen aus PTFE).

Anwendungsbeispiele

  • Versorgung, Zirkulation und Filtration von Chemikalien
  • S?uren und Laugen, einschlie?lich Hei?anwendungen
  • Reinstchemikalien
  • L?semittel, einschlie?lich Gemische
  • Stripper
  • Abrasive Slurries
semiconductor

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